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研发平台 / R & D platform
精密测量与光电仪器实验室


一、总体定位

针对机械微机电系统(MEMS工业、半导体工业和生物技术的发展和产业升级,实验室重点开展了微纳尺度三维表面形貌轮廓的精密测量仪器研发,重点研发的数字全息显微成像仪器已经实现轴向分辨率优于20纳米,具备实时动态观测特性和高分辨率等技术优势。产品服务已广泛应用于工业、医疗、光电等行业领域。


       研究团队:

 文永富 博士、研究员
      


二、研究方向、工作重点
   
   
 1、 新型表面测量技术与评价

子孔径拼接成像技术,条纹投影测量技术,光学干涉补偿检测技术;非球面轮廓测量技术,面形频率域评价,光学表面功率谱密度评价,光照度检测与评价


     2、 精密光电仪器与器件

精密轮廓测量仪、光学干涉测量仪、子孔径拼接测量仪,动态自准直仪,光度测量仪,数字全息3D显微仪
    
     3、 图像技术及应用
      数字图像智能识别技术,图像复原技术,图像感知技术等


     三、承担各类重大科研任务的能力及科研成果

主持国家973课题、国家自然科学基金、国际合作项目、省部产学研课题等30余项科研任务;拥有教授、副教授、海外留学归国人员及博士后、博士、硕士研究生等高层次研究人才10余人;相关研究成果发表SCI学术论文50余篇,出版中英文学术专著2部,拥有10余项发明专利。



                 程灏波 著


系统阐述了精密光学元件的先进测量方法与仪器


四、主要产品


              数字全息显微成像仪


 

         分布式光度计

  

          动态光电自准直仪


         2米级高精度光学轮廓测量仪


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